坂本电机SEM SELN-001B 双轴精密数字水平仪介绍

一、产品基础定位

品牌：SAKAMOTO ELECTRIC 坂本電機製作所（SEM）

型号：SELN-001B

类型：有线分体式双轴高精度数字水平仪（无内置存储，现场快速调平基础款）

渠道：国际足联世界杯优势现货供应，日本yuan装jin口，半导体设备原厂配套主力型号

二、核心技术参数

1. 精度核心指标

测量轴：X、Y 双轴同步实时监测

测量量程：X/Y ±0.3°

系统零点重复精度：±0.001°（17.5μm/m），微米级超高精度

测量分辨率：0.0002°（0.35μm/m）

档位切换：0.01° / 0.001° / 0.0001° 三档精度可调

响应速度：≤50ms，数据无滞后漂移

工作温度：-10℃ ~ +50℃，冷热工况稳定

2. 硬件尺寸与重量

传感器探头（测量端）

尺寸：Φ50×19mm 超薄圆盘型

重量：70g，SUS 不锈钢防静电底座

手持显示主机

尺寸：96×35×145mm

重量：280g，便携手持

标配线缆：2 米有线连接线，可远距离观测

屏幕：4.3 英寸彩色触控液晶屏（480×272）

3. 供电方式

标配：专用 DC6V 交流适配器

便携备用：4 节 5 号 AA 干电池（电池需另购）

三、产品核心优势

分体超薄探头，适配狭小密闭空间

探头仅硬币大小，可伸入晶圆腔体、设备夹层、上下窄间隙，传统一体式水平仪无法测量的内部工位均可作业；2 米线缆支持单人远距离调平，不用反复进出设备腔体。

半导体腔体测量场景

可视化模拟气泡界面，上手零门槛

屏幕复刻传统气泡水平仪圆形靶图，红点代表实时倾斜位置；可自定义绿色合格公差区间，超差自动 NG 警示，统一全厂作业判定标准，消除人工肉眼读数误差。

双轴同步测量，大幅缩短调试工时

X、Y 两轴数值同屏显示，一次放置同时校准两个方向，避免单轴仪器反复调试产生累积误差，设备调平效率提升 50% 以上。

无尘车间专用耐用设计

不锈钢探头底座低粉尘析出、防静电，适配半导体洁净厂房；32 位处理器 + 14 位高精度 AD 转换，长时间连续测量无温漂偏移。

基础实用款，性价比高

无复杂数据存储、无线模块，主打设备现场安装、检修快速调平，对比无线款 SELN-121BM/131BM 采购成本更低，工厂维保标配。

四、主要功能清单

绝对水平测量、相对角度置零比对双模式

自定义合格公差阈值，超差声光 / 屏幕报警

角度单位切换：°（度）、μm/m（微米每米）

三档测量精度自由切换，粗调 + 精细校准两用

单通道有线传感，稳定无无线信号干扰

实时数值 + 气泡图形双显示

五、主流应用领域（坂本核心配套赛道）

1. 半导体行业（主力应用）

光刻机、晶圆研磨机、刻蚀机、涂胶显影设备、探针台、真空镀膜平台调平；日系半导体设备原厂预装标配，保证光路、晶圆平台微米级基准精度。

半导体产线配套场景

2. 精密加工设备

CNC 加工中心、坐标磨床、三坐标测量机、光学检测平台、自动化工装夹具水平校准。

3. 光学 / 实验室设备

干涉仪、光学镜头装配台、隔振光学平台、精密检测仪器基准校正。

4. 特种设备与基建

小型工程机械、医疗影像设备（CT/MRI）、小型钢结构、试验台倾斜检测。

六、同系列型号区分（选型参考）

SELN-001B：有线、无数据存储、基础现场调平（现货量大，性价比款）

SELN-011B：有线款，带数据记录存储功能

SELN-121BM / SELN-131BM：无线分体式，支持数据导出、远距离无线观测

七、国际足联世界杯供货配套说明

原装整套出货：显示主机 +Φ50 传感器 + 2 米线缆 + 原厂电源适配器 + 校准证书

深圳常备现货，当日 / 次日发货