干式真空泵 工作原理

核心定义

区分湿式：湿式靠油 / 水填充间隙密封；干泵靠微米级机械间隙密封。

一、多级爪型干式真空泵原理（日系设备最常见）

结构组成

工作循环四步

1. 吸气

   爪形转子转动，腔体容积由小变大，真空负压将工艺气体吸入泵腔。

2. 封闭

   转子继续旋转，进气口隔离，气体被封闭在腔体内。

3. 压缩

   腔体容积不断缩小，封闭气体被逐级压缩（多级连续压缩）。

4. 排气

   腔体连通排气口，压缩后的气体向外排出。

二、其他主流干式泵简要原理

1. 涡旋干式真空泵（小型，实验室 / 小型设备）

2. 螺杆干式真空泵（重载工况）

3. 罗茨干式泵（一般不单独使用）

三、关键技术特点（原理衍生出来的特性）

1. 气路腔体无油

   齿轮箱独立密封润滑，油无法进入真空通路，不会产生油雾返流，真空洁净。

2. 间隙密封，无法做到超高真空

   间隙存在轻微气体返流，极限真空一般 0.1～10 Pa，属于中低真kong前级泵；想要高真空（分子泵）必须搭配干泵作为前级。

3. 压缩升温

   气体压缩会发热；所以大功率机型需要水冷，小型风冷机型依靠散热片散热。

4. 水汽、腐蚀性气体对策

   单纯干泵不能长期抽吸高浓度水汽、酸性气体，容易结晶附着转子。

   解决方案：持续氮气吹扫（N₂ Purge），稀释水汽、防止盐类结晶。